意思思惟、惟度的不同。
“殊”的基本含义为不同，如殊途同归、悬殊；引申含义为特别，很，如殊功、殊荣在日常使用中，“殊”也常做动词，表示断，绝，如殊死。
惟字的基本含义为想，思考，如思惟、惟度；引申含义为单，只，如惟独、惟恐。在汉语应用中，惟字常作文言助词，用于句首，如惟妙惟肖。